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碳化硅优质品牌
国内碳化硅制品生产专业厂家

碳化硅悬臂桨/光伏悬臂桨

作者:admin  来源:未知  发布时间:2020-06-21  浏览:

  山东尚美新材料科技有限公司是一家专业从事反应烧结碳化硅陶瓷,氮化硅,复合材料制品的企业,公司成立于2018年2月,占地60余亩,投资3800多万元,年生产能力600吨,生产技术和设备均达到世 界先进水平。

  反应烧结碳化硅主要产品有:横梁、棍棒、喷火嘴、冷风管、热电偶保护管、辐射管、脱硫喷嘴、耐磨 衬材、耐磨耐腐蚀叶轮、喷砂嘴、棚板、匣钵、交换器、密封件及各种异形件。该产品具有高强度,高 耐磨,耐高温,耐急冷急热,耐酸碱腐蚀,抗氧化,导热和抗热震性好,抗高温蠕变等性能和特点;公司建设有20多万平方米的生产制造基地和研发中心。

  反应烧结碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨,主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用。

  悬臂浆性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗的周期,并大幅减少污染物。

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